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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

新年开工，上海金山12个重大产业项目集中启动******

　　1月3日，上海市金山区重大产业项目集中开工活动暨大信·中信海直无人机华东总部基地项目开工仪式举行。该项目将进一步集聚发展壮大无人机特色产业，打造华东地区无人机产业创新生态高地。

　　本次集中开工主战场的大信·中信海直无人机华东总部基地项目，致力于打造国内领先的集行业级无人机生产制造、应用培训、应用运营、应用研发为一体的“软硬一体化”产业基地，助力上海民用航空无人驾驶试验区的发展。

　　该项目计划用地150亩，拟建建筑面积约16.9万平方米。项目计划总投资12.1亿元，预计项目达纲达产后,年产值13.8亿元。该项目将为华东无人机基地实现全国一流民用无人驾驶航空示范区蓄势赋能。

　　据悉，除主会场外，当日还有11个重大产业项目同时开工启动，总投资91亿元，涉及用地面积871亩，涵盖智能装备、新材料、生命健康等多个战略新兴产业领域，将为金山产业经济高质量发展培育发展新动能。

　　其中新材料集聚效应显著，本次开工的项目有6个，总投资23.1亿元，代表项目有庄臣中国制造工厂新建项目、上海艾创包装科技有限公司新建的工业用纸包装生产建设项目等。

　　高端智能装备领域的3个项目，总投资40.7亿元，占总开工投资额的42%。麦格纳汽车镜像（上海）有限公司的涂装线技术升级改造项目。项目计划总投资5000万元，作为全球第三大汽车零部件供应商麦格纳国际旗下独资子公司，本次技术升级改造后将直接带动产能产值大幅提升，推动汽车产业向高端化、智能化、绿色化迈进。

　　值得一提的是，本次开工的上海石化的热电机组清洁提效改造工程项目是中石化集团与金山区政府继去年6月弹性体项目后的再一次强强联手。该项目已列为《上海市能源发展“十四五”规划》的重点能源建设项目，项目计划总投资37.5亿元，建成后进一步锚定“双碳”目标，能效水平大幅提升，助推化工行业向绿色低碳转型。（光明日报全媒体记者颜维琦 通讯员 魏娜）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）